Plāno plēvīšu uzpūtināšanas metodes

DARBA MĒRĶIS: Uz teoretisko un praktisko petījumu par plāno plēvju izsmidzināšanu pamata, izstradāt rekomendācijas, lai uzlabotu šo metodi.
1.Teorētisko aspektu par plāno plēvju izsmidzināšanu ar dažādiem paņēmieniem, izziņa.
2.Vakurma ierīces sastāva izziņa.
3.Plāno plēvju izsmidzināšanas ar vakuuma metodi izziņa.
PĒTĪJUMA METODES:
Teorijas par plāno plēvju izsmidzinšānu ar vakuuma metodi analīze.
VAKUUMS1 (no lat. vacuum — tukšuns) — vide, kas satur gāzi pie spiediena, kas ir zemāks par atmosfēras spiedienu. Vakuums raksturojas ar attiecību starp λ gāzes molekulu brīvā skrējiena garumu un d procesa raksturīgu izmēru. Ar d var tikt pieņemts attālums starp vakuuma kameras sienām, vakuuma caurules diametru u.t.t. Atkarībā no attiecības λ/d lieluma izsķir zemo (λ/d<< 1), videjo (λ/d~1) un augsto (λ/d >>1) vakuumu.
Ir jāizšķir tehniskā un fiziskā vakuuma jēdzienus.
ТEHNISKAIS VAKUUMS1
Praksē ļoti izretinātu gāzi sauc par tehnisko vakuumu. Makroskopiskā apjomā ideālais vakuums nav sasniedzams praksē, jo pie galīgās temperatūras visiem materiāliem ir nenulles piesātinātu tvaiku blīvums. Bez tam daudzi materiāli (tai skaitā biezi metāliskie, stikla un citas trauka sienas) ir gāzes caurlaidīgi. Mikroskopiskos apjomos, tomēr, ideāla vakuuma sasniegšana principā ir iespējama. Vakuuma izretināšanas pakāpes mērs ir gāzes < λ > molekulu brīvā skrējiema garums, kas saistīts ar to, sasvtarpējām sadursmēm gāzē, un rakturīgu līnijveida izmeru/trauku, kurā atrodas gaze.…